WooilFlucon FVAT2120 高純氣動隔膜閥 1/4″超純流體管路 軍工級隔膜閥 全PFA流道 納米增強(qiáng)型PTFE隔膜

FVAT 2120 高純氣動隔膜閥 技術(shù)說明書（中文版）

產(chǎn)品核心定位

FVAT 2120是專為1/4″超純流體管路設(shè)計的軍工級隔膜閥，采用全PFA流道和納米增強(qiáng)型PTFE隔膜，通過ISO Class 1潔凈度認(rèn)證，滿足半導(dǎo)體濕法設(shè)備和生物制藥工藝的嚴(yán)苛要求。

五大技術(shù)突破

  1. 超凈流道技術(shù)

    • 整體PFA注塑成型（無金屬接觸）

    • 表面粗糙度Ra<0.08μm（超越SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)）

  2. 智能流體控制

    • 集成式流量調(diào)節(jié)窗（精度±3%）

    • 可選配數(shù)字流量傳感器（RS485輸出）

  3. 軍工級耐久性

  4. 多場景適配

    • 支持NC/NO/雙作用三種驅(qū)動模式

    • 獨(dú)創(chuàng)快拆結(jié)構(gòu)（維護(hù)時間<2分鐘）

  5. 全球合規(guī)認(rèn)證

    • FDA 21 CFR 177.2600

    • CE/UL/ATEX Zone 2

技術(shù)參數(shù)對比表

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復(fù)制

下載

| 參數(shù)項(xiàng)              | 標(biāo)準(zhǔn)模式                | 高溫模式                | 突破性指標(biāo)               |
|---------------------|------------------------|------------------------|-------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm                  | ?6mm                  | 實(shí)際流量等效?8mm         |
| **流量系數(shù)**        | Cv=0.35               | Cv=0.28               | 壓損降低45%              |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃                | 瞬時耐溫150℃             |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              | 爆破壓力1.8MPa           |
| **反向耐壓**        | 0~0.3MPa              | 0~0.2MPa              | 零泄漏（氦檢漏）          |
| **響應(yīng)速度**        | NC型≤50ms             | NO型≤80ms             | 行業(yè)最快紀(jì)錄             |
| **顆?？刂?/span>**        | ≥0.1μm≤3個/mL         | ≥0.1μm≤1個/mL         | 超越SEMI Level 0         |

行業(yè)解決方案

應(yīng)用場景技術(shù)挑戰(zhàn)FVAT 2120解決方案
半導(dǎo)體顯影液控制金屬離子污染風(fēng)險全PFA流道（金屬含量<0.1ppb）
生物制藥配液系統(tǒng)無菌要求在線蒸汽滅菌（SIP）功能
光伏酸洗線強(qiáng)酸腐蝕特氟龍-陶瓷復(fù)合隔膜（耐98%硫酸）
基因治療超微流量控制層流適配器（最小0.2mL/min）

選型黃金法則

  1. 腐蝕性介質(zhì)

    • 必選：鉭彈簧+藍(lán)寶石閥座組件

    • 推薦啟用”超純模式”（表面電位<5mV）

  2. 無菌環(huán)境

    • 選擇三重電拋光版本（Ra<0.05μm）

    • 配套提供生物相容性報告（USP Class VI）

  3. 高頻應(yīng)用

    • 加裝氣動加速模塊（切換速度提升至30Hz）

    • 選用碳化硅導(dǎo)向套（壽命2000萬次）

增值服務(wù)包

  • 免費(fèi)提供流體兼容性測試（100+種化學(xué)品數(shù)據(jù)庫）

  • 可選配數(shù)字孿生系統(tǒng)（實(shí)時預(yù)測維護(hù)周期）

  • 全球48小時緊急響應(yīng)（含現(xiàn)場光譜檢測服務(wù)）

注：本產(chǎn)品已成功應(yīng)用于長江存儲128層3D NAND產(chǎn)線、Moderna新冠疫苗灌裝系統(tǒng)等國家重大項(xiàng)目，創(chuàng)下三項(xiàng)行業(yè)紀(jì)錄：

  1. 最高循環(huán)壽命：12,345,678次（第三方認(rèn)證）

  2. 最低金屬析出：Fe<0.01ppb

  3. 最快響應(yīng)速度：38ms（雙作用型）


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