FW 4600 數(shù)字式氣體微流量調節(jié)計

產(chǎn)品類型

微流量調節(jié)數(shù)字氣體流量計

規(guī)格書

[FW4600_2024.12.pdf]

產(chǎn)品說明

采用?MEMS技術?的微量氣體流量調節(jié)計（閥門型）。

• 接觸流體部分：SUS316不銹鋼

• 外觀：陽極氧化鋁處理，精致小巧的機身

• 適用于?Air（空氣）、N?、O?、Ar、He、CO??等氣體的微量流量控制

特點

• 100% 一對一流量校準

• 配備?流量調節(jié)針閥（Needle Valve）

• 支持?流量水平監(jiān)控報警輸出

• 可定制?用戶指定流量測量范圍

應用領域

• 半導體設備及研究設備的氣體管路

• 通過自帶針閥實現(xiàn)?流量精密控制

• 小型實驗室?公用設施流量測量

• 各類?檢測設備的采樣管路?流量測量及控制

• 微生物、化學、制藥?等高純度流體應用領域

技術規(guī)格

• 適用流體：氣體（N?、Air、O?、Ar、He等）

• 測量流量范圍（氣體）：

  • 0~500 SCCM（標準毫升/分鐘）

  • 0~1 LPM（升/分鐘）

  • 0~2 LPM

  • 0~5 LPM

• 測量誤差：±3% 滿量程（F.S）

• 工作壓力范圍：最大 1MPa（10kg/cm2）

• 工作溫度范圍：-10 ~ +55℃