All PFA流量計(jì)，折藥部和taper tube為PFA，具有卓越的耐化學(xué)性和PFA welding，適用于需要各種化學(xué)和耐化學(xué)性的設(shè)備。

-一個(gè)簡單的結(jié)構(gòu)
-沒有粒子發(fā)生和離子污染
-卓越的耐化學(xué)性
– PFA welding結(jié)構(gòu)leak free
-最適合于HF等所有化學(xué)的流量測量和控制。
-安裝Panel mounting
-流量級(jí)別監(jiān)視的alarm輸出
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗，在clean room進(jìn)行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-用于Wet process的半導(dǎo)體設(shè)備的化學(xué)補(bǔ)給線
– HF euching，清潔設(shè)備的流量測量
-高頻的流量測量
-測量不能使用Glass的chemical的流量
-測定超純、高純化學(xué)的流量

-應(yīng)用流體:液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:Water – Min 50cc/min、Max 2LPM
-測量誤差:3%全比例
-使用壓力:Max 3 bar
-使用溫度:Max 70℃