All PFA流量計由PFA接液部和PFA錐管組成，具有卓越的耐火學(xué)性能，可適用于所有種類的化學(xué)，是需要耐火學(xué)性能的設(shè)備的理想流量計。

-沒有粒子發(fā)生和離子污染
-最適合各類化學(xué)計量和控制流量
-外部組件用全鐵鑄造防腐蝕。
-以水為基準(zhǔn)，流量可測量到10~100 liter/min
-安裝Panel mounting
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗，在Clean room進(jìn)行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-用于Wet process的半導(dǎo)體設(shè)備的化學(xué)補給線

–高純度化學(xué)藥品的流量測量
-流量測量和用自近鄰精確控制流量
-測量不能使用Glass的chemical的流量
-用于化學(xué)供應(yīng)鏈供應(yīng)設(shè)備

-應(yīng)用流體:液體(visosity 5.0cP)
-測量流量:Water – Min 50 LPM/Max 100 LPM
-測量誤差:3%全比例
-使用壓力:Max 3 bar
-使用溫度:Max 70℃