采用蝶形和外觀為SUS316，流量儀表用taper tube采用borosilicate系glass，是專為使用各種腐蝕性gas、chemical和DI water而設(shè)計的中等容量流量計。

– Buffing處理的無狀態(tài)body和模糊的Al frame
-以水為基準，可測量20L/min的中流量
-安裝用于調(diào)節(jié)流量的近電壓
-硼硅酸鹽類的優(yōu)良耐化學性和抗沖擊性
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-前后都可進行panel mounting
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進行超聲波清洗，在clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導體設(shè)備的DI water、gas、chemical供應(yīng)線
-流量測量和用自近鄰精確控制流量
-測量小型研究所等實用程序的流量
-高純度、腐蝕性流體使用裝置，如Gas purifier和Gas scrubber
-微生物、化學、醫(yī)藥等高純度流體使用領(lǐng)域

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:
Water – Min 5LPM/ Max 20LPM
Gas – Min 50LPM/ Max 600LPM
-測量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:25 Bar
-使用溫度:0 ~ 90℃