FFA或PVC使用了接液部和外觀，taper tube是一種中等容量的流量計(jì)，旨在使用borosilicate系glass，

-以水為基準(zhǔn)，可測(cè)量3~10 LPM的中流量
-安裝用于調(diào)節(jié)流量的近電壓
-優(yōu)秀的耐化學(xué)性
-流量級(jí)別監(jiān)視的alarm輸出
-前后都可進(jìn)行panel mounting
-制作訂購者規(guī)格的流量測(cè)量范圍。
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗，在clean room進(jìn)行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導(dǎo)體Wet process設(shè)備的DI water、化學(xué)補(bǔ)給線
-流量測(cè)量和用自近鄰精確控制流量
-流體連接口可使用多種材料制造，不區(qū)分Gas和Liquid。

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0cP)
-測(cè)量流量:
Water – Min 3LPM/Max 10LPM
Gas – Min 50LPM/Max 200LPM
-測(cè)量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:25 Bar
-使用溫度:0 ~ 50(90)℃