FW 1535系列

Purge Flow meter

凈化流量計(jì)

化學(xué)品用大流量計(jì)

訂購(gòu)信息：

規(guī)格參數(shù)：

適用流體：液體（粘度為 5.0 cP）
測(cè)量流量：水 最小 50 LPM / 最大 100 LPM
測(cè)量誤差：±5% 滿量程
使用壓力：最大 0.5 MPa
使用溫度：最大 0 ~ 60 ℃

應(yīng)用:

– 半導(dǎo)體濕法工藝的大型 DI 水或化學(xué)品供應(yīng)管線
– 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)
– 通過(guò)內(nèi)置控制閥進(jìn)行精確控制
– 小型實(shí)驗(yàn)室的公用流量測(cè)量
– 在微生物學(xué)、化學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域使用高純度流體

特點(diǎn):

– 高達(dá)100升（滿流量）
– 優(yōu)異的化學(xué)抗腐蝕性能
– 可用于液體測(cè)量，如DI水、化學(xué)品
– 內(nèi)置控制閥
– 各種流向內(nèi)置設(shè)計(jì)，可用于面板安裝
– 流量水平傳感器報(bào)警
– 提供廣泛的流量范圍，以滿足所有需求
– 在潔凈室中進(jìn)行超聲波DI水清洗和真空包裝

產(chǎn)品信息：

PVC 和聚四氟乙烯（Teflon）構(gòu)造的流量計(jì)可提供用于測(cè)量高度腐蝕性化學(xué)品和DI水的解決方案。FW 1535 
系列流量計(jì)的容量可達(dá)每分鐘100升。

尺寸：