Thermionics RCL 系列 3 kW 多坩堝線性電子束蒸發(fā)源 科研級電子束蒸發(fā)源

Thermionics 的 RCL 系列為科研級多坩堝線性電子束蒸發(fā)源，具備 3 千瓦功率輸出，專為科研應(yīng)用設(shè)計(jì)，為高精度、高穩(wěn)定性應(yīng)用設(shè)計(jì)。，具備增強(qiáng)的電子束穩(wěn)定性與高效的 XY 掃描能力，實(shí)現(xiàn) 坩堝全覆蓋。配備插拔式發(fā)射模塊與掃描線圈組件，便于維護(hù)操作。該系列可提供全套電源、掃描控制器及配件（包括坩堝內(nèi)襯）。該系列具有以下特點(diǎn)：

  • 增強(qiáng)的電子束穩(wěn)定性

  • 高效的 XY 掃描功能

  • 完整坩堝覆蓋范圍

此外，RCL 系列支持選配 自動(dòng)定位換位器（Auto-Indexer），以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換坩堝功能（需單獨(dú)購買）。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 真正的 XY 掃描，實(shí)現(xiàn)坩堝全覆蓋

  • 標(biāo)配掃描線圈（Sweep Coils）

  • 束斑準(zhǔn)直效果增強(qiáng)

  • 可插拔式發(fā)射模塊，便于更換和維護(hù)

  • 高穩(wěn)定性水冷系統(tǒng)

  • 具備交叉污染防護(hù)設(shè)計(jì)

  • 堅(jiān)固耐用的工業(yè)級結(jié)構(gòu)

  • 支持選配自動(dòng)換坩堝裝置（Auto-Indexer）

技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目參數(shù)說明
推薦操作壓力優(yōu)于 5 × 10?? Torr
束壓4,000 V 直流
束電流0–750 mA，連續(xù)可調(diào)
最大功率3,000 W
冷卻水流量1.5 加侖/分鐘（gpm）
所需最低壓差25 psi
最大烘烤溫度230°C（446°F）
坩堝容量2.24 cc × 3、4 或 5 個(gè)坩堝


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