Thermionics HCL 系列 高容量多坩堝線性電子束蒸發(fā)源 多材料高純沉積工藝 光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體制程和科研實驗

HCL 系列為全金屬密封結(jié)構(gòu)的電子束蒸發(fā)源，適用于超高真空（UHV）環(huán)境。提供 3 至 5 甚至更多坩堝配置，可實現(xiàn)最多 5 種以上材料的順序蒸發(fā)沉積。標(biāo)準(zhǔn)安裝方式為 12 英寸外徑 CF 法蘭，適用于大容量配置。對于 15cc 及以下坩堝容量，支持 10 英寸外徑 CF 法蘭安裝。

該系列標(biāo)配自動坩堝定位系統(tǒng)（Auto Indexer）及完整的機械、電氣連接接口，適用于多材料高純沉積工藝需求，如光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體制程和科研實驗。

主要特點：

  • 超高真空兼容（UHV Compatible）：金屬密封設(shè)計，基準(zhǔn)極限壓力達 2 × 10?11 Torr

  • 270° 電子束偏轉(zhuǎn)角：燈絲完全隱藏，有效避免顆粒短路

  • 燈絲更換方便：專用對準(zhǔn)工具確保更換時對準(zhǔn)精度，無需復(fù)雜調(diào)整

  • 永磁主束定位系統(tǒng)：使用永磁進行主束位置控制，電磁線圈用于精細(xì)掃描與微調(diào)

  • 強力冷卻能力：高穩(wěn)定性冷卻結(jié)構(gòu)，確保長時間運行

標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭尺寸：

坩堝容量標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭
≤ 15cc10 英寸外徑 CF 法蘭
> 15cc12 英寸外徑 CF 法蘭（默認(rèn)）

技術(shù)規(guī)格：

參數(shù)數(shù)值
最大功率15 kW
發(fā)射電壓-6 ~ -15 kV
發(fā)射電流0 ~ 1 A（連續(xù)可調(diào)）
燈絲功率700 W
電子束偏轉(zhuǎn)270°
電子束光斑尺寸≈ 0.25 英寸直徑
蒸發(fā)速率1 克/分鐘（@10kW），36,000 ?/min（鋁@250mm距基材）
冷卻水需求3 gpm，25 psi 差壓
坩堝材質(zhì)OFE 高純銅
烘烤溫度230°C

坩堝容量選項：

  • 標(biāo)準(zhǔn)容量：7 cc、15 cc、25 cc、40 cc、75 cc

  • 支持定制坩堝容量與結(jié)構(gòu)（可根據(jù)項目需求定制）


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