Thermionics 推出雙單腔10 kW和15 kW HM2電子束蒸發(fā)槍(e-beam)。Hanks HM2系列采用獨特的模塊化磁設(shè)計,實現(xiàn)更高效的電子束性能。
Hyper-Unimelt 200 Hz 掃描技術(shù)消除了電子束隧穿效應和源材料爆發(fā)現(xiàn)象??刹灏伟l(fā)射器組件和掃描線圈組件使得設(shè)備維護更加便捷。絲束易于校準,電子束準直效率更高,絲束變形極小,電子束尾跡被有效消除。
特點
配備適用于超高真空的掃描線圈(200 Hz)
取消極片設(shè)計
易于絲束校準
更高效的電子束準直
絲束變形極小
消除電子束尾跡
適合協(xié)同蒸發(fā)
腔室間隙極小,實現(xiàn)理想蒸汽羽流混合
每個蒸發(fā)源獨立水冷
設(shè)計以消除交叉干擾
可選三點式可調(diào)導軌塊