Thermionics 的 ICR 系列 e-Gun™ 提供高達(dá) 15 千瓦（kW） 的功率輸出，專為大體積材料蒸發(fā)設(shè)計，適用于工業(yè)生產(chǎn)、高端研發(fā)及航空光學(xué)等領(lǐng)域景。該系列提供兩種配置：

可選配置

1. 轉(zhuǎn)盤式（Carousel）結(jié)構(gòu)
   ?- 單坩堝最大容量可達(dá) 1500 cc，適合大批量單一材料沉積
   ?- 坩堝順序切換，提升工作連續(xù)性與效率

2. 多坩堝（Multi-pocket）結(jié)構(gòu)
   ?- 可選配 最多 10 個，每個 75 cc 的坩堝
   ?- 支持多材料蒸發(fā)，可實現(xiàn)不同材料的連續(xù)沉積
   ?- 適用于多層膜、功能梯度膜的制備工藝

主要特點(diǎn)

• 真實 XY 掃描，確保坩堝全覆蓋，提升沉積均勻性

• 專利防束彎屏蔽裝置，顯著延長工作周期，提高沉積效率

• 堅固的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，防止轉(zhuǎn)盤卡滯

• 插拔式電子束發(fā)射模塊，便于快速維護(hù)

• 高穩(wěn)定性冷卻系統(tǒng)，保障連續(xù)高功率運(yùn)行

• 內(nèi)建交叉污染屏蔽系統(tǒng)（適用于多坩堝版本）

• 無需拆機(jī)即可調(diào)節(jié)磁控部件，維護(hù)便捷

• 可選擴(kuò)展功能：

  • 差分抽氣系統(tǒng)（Differential Pumping）

  • 精控氣體泄露（Gas Bleed）

  • 雙燈絲冗余配置（Dual Filaments）

技術(shù)參數(shù)