美國(guó)Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍

美國(guó)Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍?

美國(guó)Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍提供了增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的XY掃描,具有完整的坩堝覆蓋范圍,并可通過(guò)單獨(dú)出售的自動(dòng)分度器進(jìn)行自動(dòng)定位。

美國(guó)Thermionics RCR系列3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍技術(shù)特征:
真正的XY掃掠,完全覆蓋坩堝
掃頻線圈隨電源一起提供
增強(qiáng)光束準(zhǔn)直
插入式發(fā)射器模塊
增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
可選自動(dòng)索引器

多坩堝電子槍的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優(yōu)點(diǎn):
大量的蒸發(fā)劑供應(yīng)——當(dāng)每個(gè)坩堝都裝有相同的源材料時(shí),可以在一個(gè)真空循環(huán)中蒸發(fā)更多的蒸發(fā)劑。
在一個(gè)真空循環(huán)中沉積多達(dá)八種不同的材料——在單個(gè)真空循環(huán)中,可以將不同的材料放入每個(gè)坩堝中,并以任何順序沉積。沉積速率與單坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個(gè)坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭通過(guò)驅(qū)動(dòng)手柄定位。因此,蒸發(fā)總是從真空室中完全相同的位置開始。非活性坩堝通過(guò)磁極片與加熱的坩堝屏蔽,從而消除了坩堝之間的污染。

3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍主要特征:

高真空兼容
金屬和彈性體密封,測(cè)量的基礎(chǔ)壓力:2 x 10-9Torr。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部移除,而無(wú)需完全拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。
特價(jià)商品
所有多坩堝電子槍都可以安裝在直徑較大的ConFlat或矩形PyraFlat法蘭上,單法蘭或背對(duì)背法蘭。

3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍技術(shù)參數(shù):

操作電壓為了達(dá)到最佳運(yùn)行效果,最好低于5 x 10-5Torr
束電壓4,000 V
束電流0–750 mA?(連續(xù)可變)
最大功率3,000 W
冷卻水1.5 gpm
最大烘烤溫度120°C (150°F)
坩堝體積2.24 cc x 4, 6, or 8 crucibles

3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍技術(shù)特征:安裝配置
每個(gè)e-Gun™都有三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置:
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上,該法蘭使用標(biāo)準(zhǔn)OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座,通過(guò)直徑為1”的孔安裝,并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨(dú)使用,無(wú)安裝法蘭
請(qǐng)?jiān)谙聠螘r(shí)指定安裝配置;成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。
其他安裝法蘭、配置和幾何形狀可聯(lián)系上海皕赫

3kW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍主要型號(hào):

Model No.Crucibles
RCR0304-SD4
RCR0304-BD4
RCR0306-SD6
RCR0306-BD6
RCR0308-SD8
RCR0308-BD8

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