美國(guó)Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,HCR 系列旋轉(zhuǎn)式電子槍™
HCR 系列旋轉(zhuǎn)式電子槍™
蒸發(fā)源
系列：HCR
HCR 系列旋轉(zhuǎn)式電子槍™是一種全金屬密封的電子槍™，有 3 到 8 個(gè)坩堝版本，允許連續(xù)沉積多達(dá) 8 種材料。標(biāo)準(zhǔn)安裝在 12 英寸外徑的 CF 法蘭上，包括自動(dòng)分度器以及所有機(jī)械和電氣連接。
蒸發(fā)源
系列：HCR
旋轉(zhuǎn)式噴槍™
HCR 系列旋轉(zhuǎn)式電子槍™是一種全金屬密封的電子槍?zhuān)?3 到 8 個(gè)坩堝版本，允許連續(xù)沉積多達(dá) 8 種材料。標(biāo)準(zhǔn)安裝在 12 英寸外徑的 CF 法蘭上，包括自動(dòng)分度器以及所有機(jī)械和電氣連接。
特征
- 提供 3 至 8 個(gè)坩堝
- 270° 光束偏轉(zhuǎn)
- 多個(gè)坩堝，旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)
- 可互換的坩堝組件
- 長(zhǎng)壽命發(fā)射器組件
- 輕松更換細(xì)絲
- 永磁梁定位
- 整體掃掠線圈
- 提供底部或側(cè)面驅(qū)動(dòng)
規(guī)格
| 特征 | 規(guī)格 |
| 最大功率 | 10 千瓦 |
| 發(fā)射電壓 | -6 至 -10 kV |
| 發(fā)射電流 | 0 至 1 A |
| 燈絲 | 700 瓦 |
| 電子束偏轉(zhuǎn) | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25“ 直徑，緊密橫梁 |
| 蒸發(fā)速率 | 1 克/分鐘 @ 10 kW 36,000 ?/min 鋁 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基底的距離 |
| X 和 Y 掃描 | 使用 Thermionics 掃描控制器運(yùn)行時(shí)，縱向和橫向控制高達(dá) 200 Hz |
| 水 | 3 gpm，20°C，50 psi 壓差 |
| 坩堝材料 | OFE 銅纜 |
| 烘烤溫度 | 120°C （250°F） |
安裝配置
每個(gè) e-Gun™ 都提供三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置：
- e-Gun™ 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上，使用標(biāo)準(zhǔn) OFE 銅墊圈
- e-Gun™ 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座，可通過(guò) 1 英寸直徑的孔安裝，并由壓縮 O 形圈密封
- 單獨(dú)使用 e-Gun™，無(wú)需安裝法蘭
請(qǐng)?jiān)谙掠唵螘r(shí)指定安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。
