蒸發(fā)源
系列：Hanks

我們的高效 Hanks HM2 e-Guns™ 提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統(tǒng)，具有增強的光束準(zhǔn)直功能，可消除光束卷曲。

HM2 e-Gun™ 的尺寸也是標(biāo)準(zhǔn) e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%。

蒸發(fā)源
系列：Hanks

Hanks HM2 多口袋電子槍™

我們的高效 Hanks HM2 e-Guns™ 提供獲得專利和屢獲殊榮的模塊化磁束聚焦系統(tǒng)，具有增強的光束準(zhǔn)直功能，可消除光束卷曲。我們創(chuàng)新的 Hanks HM2 Hydra 設(shè)計由一 （1） 或兩 （2） 個緊湊的坩堝和發(fā)射器陣列組成，它們彼此線性平移，可同時提供多達(dá)六種不同材料的共沉積。

HM2 e-Gun™ 的尺寸也是標(biāo)準(zhǔn) e-Gun 的 2/3，磁效率提高了 350%。

特征：

• 優(yōu)化的發(fā)射器和掃頻線圈組件
• 消除極片 – 垂直安裝的磁鐵可產(chǎn)生更少的磁通量
• 0-200 Hz 掃描，可重復(fù)，均勻蒸發(fā)，無“隧道”和源材料噴發(fā)
• 精確穩(wěn)定的蒸發(fā)速率，低至 1-2 A/sec
• 比傳統(tǒng)蒸發(fā)源小 35%，具有相同的體積、蒸發(fā)速率和功率容量
• 采用 HV [2×10^-9Torr] 和 UHV [2×10^-11托爾]
• 非常適合順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
• 提供電源、坩堝襯墊和其他附件

模型：

• 單

  — 7 cc 至 156 cc 單坩堝 / 1 發(fā)射器 – 6-20 kW

• 單轉(zhuǎn)臺

  — 7 cc 至 25 cc – 4 個坩堝 / 1 個發(fā)射器 – 6 & 10 kW

• 雙™

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 2 個坩堝 / 2 個發(fā)射器 – 10 & 15 kW

• 三合會™

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 3 坩堝 / 3 發(fā)射器 – 6 & 10 kW

• 夸德拉

  — 10 cc， 15 cc， 40 cc – 4 坩堝 / 4 發(fā)射器 – 6 & 10 kW

• 九頭蛇-1™

  — 5 個坩堝 / 1-3 個發(fā)射器的單個陣列（有關(guān)詳細(xì)信息，請參閱下面的 Hydra 描述）

• 九頭蛇-2™

  — 5 個坩堝 / 1-3 個發(fā)射器的雙陣列，總共 10 個坩堝 / 2-6 個發(fā)射器（有關(guān)詳細(xì)信息，請參閱下面的 Hydra 描述）

Hanks HM2 電子槍受以下一項或多項專利的制造和保護(hù)：4,835,789;4,891,821;4,947,404

Hanks HM2 Hydra 電子噴槍™

我們創(chuàng)新的 Hanks HM2 Hydra 設(shè)計由一 （1） 或兩 （2） 個緊湊的坩堝和發(fā)射器陣列組成，它們彼此線性平移，可同時提供多達(dá)六種不同材料的共沉積。

Hydra 配置對空間的有效利用允許在單個真空抽真空中實現(xiàn)六坩堝的四 （4） 種不同組合和多達(dá)四十二種兩種金屬組合的排列，用于共沉積。

Hydra 消除了相鄰源的相互作用，無需復(fù)雜的光束方向和笨重的場分流組件。因此，共蒸發(fā)設(shè)計允許靠近源，以實現(xiàn)均勻的涂層和材料相互作用。此外，每個水源的單獨水冷可防止蒸汽積聚，并為每個水源包含單獨的清掃盤管，并促進(jìn)每個水源的運行參數(shù)與相鄰水源的完全獨立性。

Hydra-1 & 2規(guī)格

電源

10 kW 型號：10kW+ e-Gun™ 電源?15 kW 型號：12kW e-Gun™ 電源