美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,Hanks HM2 旋轉(zhuǎn)袖珍電子槍™
蒸發(fā)源
系列： 漢克斯
漢克斯 HM2旋轉(zhuǎn)袖珍 e-Gun™
旋轉(zhuǎn)式、多坩堝 e-Gun™
型號 | 權(quán)力 | 坩堝 否 | 坩堝體積 |
| 編號 R0607-4 | 6 千瓦 | 4 | 7毫升 |
| 編號 R0610-4 | 6 千瓦 | 4 | 10毫升 |
| 編號 R0615-4 | 6 千瓦 | 4 | 15毫升 |
| R1010-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 10毫升 |
| R1015-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 15毫升 |
| 編號 R1025-4 | 10 千瓦 | 4 | 25毫升 |
模塊化磁鐵
獨(dú)特的模塊化磁鐵概念被整合到旋轉(zhuǎn)口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 設(shè)計(jì)中。這個(gè)概念使一個(gè)非常緊湊的單元成為可能（見外形圖）。Hanks HM2 的所有獨(dú)特功能都包含在此型號中。
Hyper-Unimelt Sweep （低速率或高速率的最佳控制）
高頻掃描 （0-200 Hz） 為用戶提供了 e-Gun™ 操作的完全靈活性。通過扭動 X-Y 掃描控制器上的旋鈕，光束的大小可以改變，以適應(yīng)被蒸發(fā)的材料。這對于光學(xué)鍍膜和其他材料非常有益，其中光束尺寸在 1-2 ? 到非常高的沉積速率的最佳控制中起著重要作用。
規(guī)格
功率輸出 | 6 千瓦 | 10 千瓦 |
| 7.5 千伏 | 10 kV | |
| 0 至 800 mA | 0 至 1.0 A | |
坩堝體積 | 7/10/15 毫升 | 7/10/15/25 毫升 |
燈絲 | 12 伏交流電 60A | |
電子束 | 270° 偏轉(zhuǎn) | |
蒸發(fā)速率 | 10 kW 時(shí)為 1 gm/min 25 cm 處為 3.6 微米 | |
光束光斑尺寸 | .25“ 圓形（近似值）（光束可通過光束掃描控制器進(jìn)行電動調(diào)節(jié)和定位） | |
坩堝 | OFE 銅纜 | |
烘烤溫度 | 120°C （250°F） | |
水 | 70 psi 時(shí)為 3.0 gpm（過濾） | |
最小水管尺寸 | 3/8“ 直徑 （6/10 kW） | |
壓差 | 最小 50 psi | |
X 和 Y 掃描 | Hyper-Unimelt 掃描（0 至 200 Hz 以上） | |
