位移角差分干涉儀 SP 5000 DI/DS

四光束激光干涉位移角差測(cè)量系統(tǒng)
- 高度穩(wěn)定的差分長(zhǎng)度和螺距角測(cè)量
- XY 載物臺(tái)的完美選擇
- 光束距離 15 mm(長(zhǎng)度測(cè)量)和 6 mm(角度測(cè)量)
- 極低的溫度靈敏度< 20 nm/K
- 該設(shè)備提供 OEM 和真空版本
SP 5000 DI/DS?干涉儀結(jié)合了差分干涉儀和多光束干涉儀的優(yōu)點(diǎn)。它首次將基于差分原理的高度穩(wěn)定的長(zhǎng)度測(cè)量與高分辨率干涉傾斜角測(cè)量相結(jié)合。這使得不僅可以檢測(cè)最微小的運(yùn)動(dòng),還可以檢測(cè)更大區(qū)域的最小傾斜,而不會(huì)使結(jié)果受到熱和物理環(huán)境的影響。
干涉儀設(shè)計(jì)用于平面鏡和內(nèi)置測(cè)量系統(tǒng)??梢允褂梅瓷淦?。干涉儀使用集成到光束路徑中的超穩(wěn)定光學(xué)元件進(jìn)行調(diào)整。