三軸激光干涉儀 SP 5000 TR

• 具有最高精度的靈活長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)
• 由于集成了光束方向檢測(cè)，易于處理和調(diào)整
• 可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測(cè)量反射鏡允許傾斜高達(dá) ± 12.5°
• 緊湊的設(shè)計(jì)
• 傳感器頭設(shè)計(jì)可選鋁制、不銹鋼或因瓦合金
• 光束距離： 12 mm
• 可提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
• 光束偏轉(zhuǎn)，可選配可調(diào)節(jié)偏轉(zhuǎn)鏡
• 通過可選接口擴(kuò)展應(yīng)用范圍
• 廣泛的觸發(fā)選項(xiàng)
• 根據(jù)當(dāng)前有效標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)軟件

工業(yè)和研究的許多應(yīng)用領(lǐng)域都需要高精度的同步位移和角度測(cè)量。在固定三反射器單元的滑塊運(yùn)動(dòng)過程中，同時(shí)采集俯仰角和偏航角以及長(zhǎng)度測(cè)量，可以快速、高精度地評(píng)估運(yùn)動(dòng)軸。快速簡(jiǎn)單的傳感器調(diào)整在這里尤為重要。

SP 5000 TR 三光束激光干涉儀是將三個(gè)干涉儀組合在一個(gè)設(shè)備中的精密長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x器。所有三個(gè)測(cè)量通道都由一個(gè)具有相同高度穩(wěn)定激光頻率的光源饋送。因此，可以以納米級(jí)精度同時(shí)測(cè)量三個(gè)長(zhǎng)度值。根據(jù)兩個(gè)長(zhǎng)度值之間的差異和校準(zhǔn)的光束距離，可以高分辨率、高精度地確定相應(yīng)的角度。

干涉儀系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此可以適應(yīng)各種測(cè)量任務(wù)。

傳感器頭的光纖耦合和可選的集成光束方向檢測(cè)支持輕松操作和精確調(diào)整。

SP 5000 TR 三光束干涉儀的設(shè)計(jì)緊湊而堅(jiān)固。這使其成為工業(yè)和研究中高精度測(cè)量的理想選擇。可根據(jù)要求提供也可用于真空的 OEM 儀器版本。

對(duì)于大測(cè)量范圍或大型物體的校準(zhǔn)，建議使用無線電溫度傳感器或 LCS 精密氣候測(cè)量站。

技術(shù)數(shù)據(jù)