Prevac PES system 光電子能譜儀適用于超高真空（UHV）環(huán)境中光電子能譜實(shí)驗(yàn)的分析系統(tǒng)，配有可控樣品溫度。
Prevac PES system 光電子能譜儀適用于廣泛的納米材料分析。系統(tǒng)包括一個(gè)分析腔室和一個(gè)負(fù)載鎖腔室，以便輕松快捷地加載樣品。泵系統(tǒng)與分析腔室的標(biāo)準(zhǔn)容積相結(jié)合，可根據(jù)泵的配置將基準(zhǔn)壓力降至10^-11 mbar。光電子能譜（PES）是一種實(shí)驗(yàn)技術(shù)，也是電子能譜的主要變體。該方法基于光電現(xiàn)象和光電子動(dòng)能分布的分析。所發(fā)射的能量來(lái)自表面樣品被電磁輻射激發(fā)的結(jié)果。
PES技術(shù)是表面測(cè)試和薄層檢測(cè)中最常用的方法。它提供了關(guān)于定量成分、原子鍵特性和層厚度的信息。其基本過(guò)程（光電效應(yīng)）通過(guò)物質(zhì)受光子照射所產(chǎn)生的光電子發(fā)射進(jìn)行測(cè)量。
Prevac PES system 光電子能譜儀包含的光電子能譜分析技術(shù)：
XPS – X射線(xiàn)光電子能譜
HAXPES – 硬X射線(xiàn)光電子能譜
UPS – 紫外光電子能譜
ARPES – 角分辨光電子能譜
其他技術(shù)：
IPES – 逆光電子能譜
LEIPS – 低能逆光電子能譜
AES – 俄歇電子能譜
EELS – 電子能量損失譜
ISS – 離子散射譜
Prevac PES system 光電子能譜儀針對(duì)XPS/UPS/ARPES/AES/EELS/ISS/IPES/LEIPS技術(shù)領(lǐng)域的大多數(shù)研究需求的標(biāo)準(zhǔn)解決方案：
實(shí)驗(yàn)過(guò)程的全自動(dòng)化
垂直或水平樣品方向
配備設(shè)備的EA15 UHV半球形能量分析儀
帶單色器的高功率雙陽(yáng)極X射線(xiàn)源（AlKα和AgLα），帶電源
非單色高功率雙陽(yáng)極X射線(xiàn)源（AlKα和MgKα），帶電源
帶電源的紫外光源
帶電源的泛射源
用于深度剖析或清潔的離子源
電動(dòng)或手動(dòng)4-6軸操控器，接收站可實(shí)現(xiàn)從液氦/液氮到高達(dá)1400°C的高溫
不同尺寸的樣品夾持器：從10×10 mm到1英寸
分析腔室直徑? 310 mm
基本壓力降至10^-11 mbar（取決于泵的配置）
抽氣系統(tǒng)（基于備份泵、渦輪分子泵、離子泵和鈦升華泵）
配備設(shè)備的真空計(jì)
樣品夾持器的負(fù)載鎖腔室
從負(fù)載鎖到分析腔室可靠且快速的線(xiàn)性傳輸系統(tǒng)
觀(guān)察窗口
烘烤系統(tǒng)
可調(diào)節(jié)的系統(tǒng)剛性主框架
帶電子單元的19英寸機(jī)柜
由Spectrium軟件和PLC單元完全控制的分析過(guò)程和設(shè)備。
Prevac PES system 光電子能譜儀配備了符合超高真空（UHV）標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，可用于連接當(dāng)前和未來(lái)的設(shè)備，包括：
帶設(shè)備的半球形能量分析儀
帶電源的X射線(xiàn)雙陽(yáng)極單色源
帶電源的X射線(xiàn)雙陽(yáng)極非單色源
帶電源的紫外單色光源
帶電源的紫外光源
帶電源的泛射源
帶電源的電子源
帶電源的離子源，用于深度剖析或清潔
帶電源的氣體簇離子源
溫度范圍廣的樣品操控器（從液氦/液氮到1400?C）
抽氣裝置（基于備份泵、渦輪分子泵、離子泵及帶大面積液氮冷罩的鈦升華泵）
配備設(shè)備的真空計(jì)
用于線(xiàn)性傳輸系統(tǒng)的入口端口，例如從負(fù)載鎖到分析腔室
用于樣品夾持器的負(fù)載鎖腔室
配備設(shè)備的低能電子衍射（LEED）
配備設(shè)備的逆光電子能譜（IPES / LEIPS）
觀(guān)察窗口
殘余氣體分析儀
Prevac PES system 光電子能譜儀最終設(shè)計(jì)和功能取決于系統(tǒng)配置。泵系統(tǒng)是不同類(lèi)型泵的組合，例如前級(jí)泵、離子泵、渦輪分子泵或帶大面積液氮冷罩的鈦升華泵，根據(jù)具體應(yīng)用需求單獨(dú)選擇，以實(shí)現(xiàn)最佳泵送性能。如果需要，該系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)允許通過(guò)徑向分布傳輸解決方案或傳輸通道與任何其他研究平臺(tái)進(jìn)行組合和集成。
Spectrium分析控制軟件允許半球形能量分析儀與各種類(lèi)型的源完美集成與合作，支持輕松編寫(xiě)操作流程、自動(dòng)測(cè)量控制和廣泛的數(shù)據(jù)記錄。該軟件還允許基于Tango開(kāi)源設(shè)備集成新的附加組件。
Prevac PES system 光電子能譜儀可選組件：
帶電源的紫外單色光源
配備設(shè)備的低能電子衍射（LEED）
配備設(shè)備的逆光電子能譜（IPES / LEIPS）
帶電源的電子源
帶電源的氣體簇離子源
儲(chǔ)存腔室
徑向分布腔室或傳輸通道
帶有負(fù)載鎖腔室端口的真空箱（運(yùn)輸箱）
殘余氣體分析儀
高溫計(jì)（紅外測(cè)溫儀）
