波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,輸送系統(tǒng),重新定位解決方案

重新定位解決方案

接收、重定向樣品架并將其從一個傳輸機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)移到另一個傳輸機(jī)構(gòu)。

重新定位室通常通過分配室泵組進(jìn)行泵送(如果需要,也可以獨立泵送)。該腔室配備了幾個大型視口。重新定位腔室允許輕松擴(kuò)展各種數(shù)量的腔室的 UHV 系統(tǒng)。


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