旋涂機(jī)（Spin Coaters）

用于在平面基底上均勻涂覆薄膜的模塊。該系統(tǒng)通過(guò)在旋轉(zhuǎn)的基底上滴加熱溶液，實(shí)現(xiàn)金屬薄膜、聚合物涂層、有機(jī)薄膜等的沉積。該系統(tǒng)在嚴(yán)格控制的真空無(wú)菌環(huán)境下工作，確保涂覆過(guò)程的質(zhì)量與安全性，同時(shí)保護(hù)樣品免受外界因素和污染的影響。

產(chǎn)品描述

雙層旋涂腔室?配備以下組件：

1. 雙軸機(jī)械臂

   • R2 轉(zhuǎn)速：2500 RPM

   • 加熱能力：最高 950 oC

2. 二極管激光加熱

   • 功率：120 W

3. 滴液系統(tǒng)

   • 鋅液滴裝置：配備 1 mm 噴嘴（可加熱至 800 oC）

技術(shù)特點(diǎn)

• 精密涂覆：確保薄膜均勻性，適用于高要求的科研與工業(yè)應(yīng)用。

• 高溫兼容：支持高溫環(huán)境下的涂覆工藝（最高 950 oC）。

• 可控滴液：可加熱的鋅液滴系統(tǒng)，提高材料沉積的精確度。

• 真空保護(hù)：在無(wú)菌真空條件下運(yùn)行，避免樣品污染。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造：光刻膠涂覆、金屬薄膜沉積

• 先進(jìn)材料研究：有機(jī)電子器件、納米涂層

• 光學(xué)薄膜制備：抗反射膜、濾光片