波蘭PREVAC 032 PRIMS basic MS system磁控濺射系統(tǒng)

1996年成立于波蘭，是基于真空技術(shù)的沉積和分析系統(tǒng)的全球領(lǐng)先制造商，致力于研究固態(tài)表面，薄膜和納米材料的化學(xué)和物理性質(zhì)

磁控濺射系統(tǒng), MBE分子束外延設(shè)備，離子源

PREVAC 032 PRIMS basic MS system是簡(jiǎn)單、功能齊全的噴濺沉積裝置用于可再生薄膜層的應(yīng)用。?插孔與工作?緊湊型設(shè)計(jì)?.?

工藝室??包含3個(gè)用于磁控濺射源(用于金屬和無(wú)機(jī)物)的端口,安裝在一個(gè)向下發(fā)射裝置上。最多同時(shí)使用兩種來(lái)源(共沉積)的底物級(jí)是打算為2英寸直徑的樣品,與加熱和旋轉(zhuǎn)選擇。

PREVAC 032 PRIMS basic MS system特點(diǎn)：

• 插入和工程施工?
• 易于使用的快速測(cè)試和濺射涂料機(jī)動(dòng)裝置
• 處理室?l?拱形真空門?方便目標(biāo)或基板更換?
• 配備?MS2100電離-K磁控管源?小說(shuō)的?M600直流-PS電源
  
• 底層階段?2以下?直徑樣品?
• 工藝室直徑:355毫米口徑?
• 3個(gè)港口?2英寸磁控管源?
• 1個(gè)視野-帶快門的觀察窗?
• 防護(hù)罩?對(duì)抗交叉污染?
• 堿壓?范圍10^?-7?馬巴?
• 快速抽水系統(tǒng)?與…有關(guān)?真空計(jì)?
• 自動(dòng)加藥?通過(guò)質(zhì)量流量控制
• A?車輪上堅(jiān)固的主框架?方便放置系統(tǒng)
• 手動(dòng)節(jié)流閥

PREVAC 032 PRIMS basic MS system描述：

快速泵送系統(tǒng)（帶手動(dòng)節(jié)流閥）與工藝室的小體積相結(jié)合，使您能夠在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到基礎(chǔ)壓力。

工藝室配有高壓標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來(lái)的設(shè)備，包括：

最多3個(gè)2英寸磁控管源，
基板操縱器，
泵送系統(tǒng)，
防止交叉污染的防護(hù)罩，
石英天平，
視口——帶快門的觀察窗，
真空計(jì)，
高溫計(jì)。

PREVAC 032 PRIMS basic MS system應(yīng)用