標(biāo)準(zhǔn)PLD系統(tǒng) PREVAC 標(biāo)準(zhǔn) PLD 系統(tǒng)包括一個(gè)沉積工藝室和一個(gè)負(fù)載鎖定室,用于輕松快速地加載基板。? 脈沖激光沉積 (PLD) 獨(dú)立系統(tǒng)適用于異磁膜、陶瓷氧化物、高溫超導(dǎo)材料、金屬多層膜等的生長(zhǎng)。? | PREVAC 定制的 PLD 系統(tǒng)是復(fù)雜的 UHV 平臺(tái),可以作為更大的集成研究系統(tǒng)的一部分提供。 PLD 研究模塊可以與一系列分析和沉積技術(shù)相結(jié)合,為表面科學(xué)和材料研究創(chuàng)建多功能設(shè)計(jì)。隨附的技術(shù)列表包括 ARPES、IBS、磁控濺射和 MBE。 ? |
iPLD系統(tǒng) 自主 iPLD 站用于納米結(jié)構(gòu)層的生產(chǎn)和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。它提供了一個(gè)使用激光燒蝕的全自動(dòng)應(yīng)用材料的過(guò)程。使用該項(xiàng)目產(chǎn)生的工作站,除其他外,還可以創(chuàng)建多功能、保護(hù)和空間納米層。 |
