PREVAC 真空1-3軸機(jī)械手 1-3 axes Manipulators
根據(jù)客戶精準(zhǔn)的個(gè)性化需求,我們可以設(shè)計(jì)和提供各種定制的特高壓機(jī)械手。
機(jī)械手可以在三個(gè)正交軸 XYZ 中的任何一個(gè)軸上移動樣品。使用附加旋轉(zhuǎn)裝置可以實(shí)現(xiàn)圍繞這些軸(R1、R2、R3)的附加旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。為了實(shí)現(xiàn)最高的定位精度、分辨率和可重復(fù)性,XYZ 機(jī)械手和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的運(yùn)動可以是電動的。機(jī)械手可以在任何方向工作。
PTS 和旗幟樣式的樣品架系列與每個(gè)機(jī)械手上的接收站對接。根據(jù)要求,樣品可以通過電阻或電子束或直流電加熱。它們使用安裝在機(jī)械手上的低溫恒溫器進(jìn)行冷卻,液氮 (LN2) 或液氦 (LHe) 流過低溫恒溫器。