PREVAC 特高壓分析系統(tǒng) [項(xiàng)目 428] UHV analytical system [project 428]
專用于正電子湮沒和表面分析的分析 UHV 系統(tǒng)。
PTS 樣品架。
系統(tǒng)配置:
– 基礎(chǔ)壓力范圍為 10?-10?mbar 的分析室包括:
- 5軸全電動(dòng)機(jī)械手
- 電子能量分析儀 XPS/UPS/ARPES
- 用于 XPS 測量的單色 X 射線源
- 具有用于 UPS 測量的專用泵系統(tǒng)的單色 UV 源。
- 用于深度分析的離子源
- 其他組件的額外自由端口
– 帶設(shè)備的離子輻照室
– 加載鎖定室允許加載 PTS 樣品架
– 配件:
- 一套專用、多功能、多材料樣品架
- 所有電子單元的特殊機(jī)架
- 特殊設(shè)計(jì)的烘烤系統(tǒng)
- 工具包