PREVAC 多室特高壓系統(tǒng) [項(xiàng)目 449] Multichamber UHV system [project 449]
傳輸系統(tǒng)
PTS 樣品架。
系統(tǒng)配置：
– 分析室：
- 具有 LN2 冷卻和可加熱至 1200°C 的高精度 4 軸機(jī)械手
- 電子能量分析儀 XPS/UPS/ISS 光譜顯微鏡
- 用于 XPS 測(cè)量的單色化 X 射線源
- 洪水源
- 帶有專用泵送系統(tǒng)的離子源，用于使用 Wien 質(zhì)量過濾器進(jìn)行深度分析
– 兩級(jí)制備室：
- 具有 LN2 冷卻和可加熱至 2000°C 的高精度 4 軸機(jī)械手
- LEED/螺旋鉆
- 電子束蒸發(fā)器（伸縮）
- 沉積速率測(cè)量系統(tǒng)：石英平衡和厚度監(jiān)視器
– 負(fù)載鎖定室
– 徑向分布室，用于在特高壓條件下在附屬室之間轉(zhuǎn)移樣品
– 存儲(chǔ)室，包括用于 10 個(gè)樣品架/面罩的停放機(jī)制
– 配件：
- 一組樣品架
- 烘烤系統(tǒng)
- 適用于所有電子單元的 19″ 機(jī)架式機(jī)柜
- 支撐架
- LED照明
