描述
該系統(tǒng)專為ARPES研究而設(shè)計(jì)。它由一個(gè)可移動(dòng)的框架和四個(gè)腔室組成??蚣茉试S在所有三個(gè)軸上精確定位系統(tǒng)。每個(gè)腔室都有自己的專用泵送系統(tǒng),但制備腔室除外,它連接到分配腔室并通過分配腔室進(jìn)行泵送)。該系統(tǒng)可以在未來輕松擴(kuò)展以添加例如 MBE 室。
規(guī)格
該系統(tǒng)配備了具有出色并行檢測(cè)能力的高分辨率光電子能譜儀,能量分辨率為 1.4 meV,角分辨率為 0.2°。
分析室中的高精度 5 軸電動(dòng)樣品操縱器配有 He 低溫恒溫器和高精度樣品分配臺(tái)。裝載鎖和樣品制備室完善了系統(tǒng),形成了一個(gè)堅(jiān)固的實(shí)驗(yàn)站。
操縱器允許在低于 10K 的 2 p 球面度上進(jìn)行角度分辨測(cè)量。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)為完全由觸摸屏菜單控制。系統(tǒng)內(nèi)的樣品操作由專門設(shè)計(jì)的高精度轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)促進(jìn)。