波蘭PREVAC分析系統(tǒng) 用于 OLED 研究的定制 UHV 系統(tǒng)

描述

用于制備和研究有機(jī)薄膜 (OLED) 的定制多室 UHV 系統(tǒng)。

規(guī)格

圍繞中央徑向分配室設(shè)計(jì)的多室系統(tǒng)，帶有連接的分析室和輔助室，以滿足真正的 UHV 條件（壓力低于 10?-10毫巴）下的樣品傳輸需求。由于有機(jī)薄膜的性質(zhì)，快速可靠的樣品轉(zhuǎn)移是一個(gè)關(guān)鍵的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。分析室中的基礎(chǔ)壓力 < 1*10?-10?mbar。

  • 集成不同表面分析方法的多技術(shù)分析室；X 射線光電子能譜 (XPS)、逆光電子能譜 (IPES)、紫外光電子能譜 (UPS) 和電子損耗能譜 (EELS)。樣品定位通過穩(wěn)定、高精度的 4 軸機(jī)械手進(jìn)行。樣品接收站配備了 LN?2低溫恒溫器，允許溫度在 -180°C 至 1000°C 范圍內(nèi)變化（取決于樣品架型號(hào)）。mu-metal 室配有半球分析儀和 X 射線源、UV 源和低能電子源。靈活的設(shè)計(jì)允許輕松修改以滿足未來的科學(xué)需求
  • 可變溫度 STM/AFM 室可通過直接連接到分配室的重定向室進(jìn)入。特殊的樣品架設(shè)計(jì)帶有 STM 架，允許對(duì)每個(gè)室中的樣品進(jìn)行加熱、冷卻和溫度測量
  • 紅外光譜室 (FT-IR) 與商用紅外光譜儀，也可用作獨(dú)立儀器。測量過程中可對(duì)樣品進(jìn)行加熱和冷卻，腔室可配備電子束蒸發(fā)器進(jìn)行原位樣品制備
  • 三級(jí)制備室，配備LEED、TDS、離子源、電子束蒸發(fā)器、Knudsen 池和眾多備用端口以備將來擴(kuò)展
  • 配備離子源和眾多備用端口的單級(jí)制備室。配備表面電導(dǎo)率測量設(shè)備
  • 裝載鎖定室配備可拆卸手套箱，用于在減少氧氣和水氣氛下進(jìn)行簡單的樣品裝載或樣品制備

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