描述
該系統(tǒng)專為紅外測(cè)量而設(shè)計(jì)。
它由一個(gè)主機(jī)架、紅外分析儀架和三個(gè)帶有相關(guān)設(shè)備的腔室組成。紅外分析儀框架是獨(dú)立的，可以很容易地從主機(jī)架上斷開(kāi)并移動(dòng)到實(shí)驗(yàn)室的另一個(gè)位置。
該系統(tǒng)可以在未來(lái)通過(guò)添加其他室或技術(shù)（例如 MBE）進(jìn)行擴(kuò)展。這種創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在清晰、完美平坦的基材上進(jìn)行掠入射時(shí)的反射吸收紅外光譜 (RA-IRS) 測(cè)量，而且還支持多晶粉末樣品在透射模式下的紅外測(cè)量。獨(dú)特的設(shè)計(jì)允許保持在 100 K 和 1000 K 之間的溫度的基材具有極高的靈敏度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的異常高質(zhì)量的紅外光譜。
規(guī)格
負(fù)載鎖定室由渦輪分子泵組泵送，以在烘烤后產(chǎn)生優(yōu)于 1 x 10?-8毫巴的基礎(chǔ)真空。該室用于將樣品從大氣轉(zhuǎn)移到 UHV 系統(tǒng)中，而不會(huì)影響分配室或測(cè)量室的真空度。樣品首先安裝在樣品架上，然后使用特殊的專用夾具工具插入負(fù)載鎖定機(jī)構(gòu)
分配室由 300l/s 的離子吸氣泵和鈦升華泵 (TSP) 抽真空，基本壓力為
測(cè)量室的獨(dú)特配置可以直接插入 FTIR 光譜儀的改進(jìn)樣品室，從而實(shí)現(xiàn)非常緊湊的連接。測(cè)量室裝有一個(gè)高精度樣品操縱器。機(jī)械手具有 X、Y、Z 平移和 R1 旋轉(zhuǎn)。它旨在通過(guò)使用千分尺（X 和 Y 軸）或手輪（Z 軸）來(lái)精確手動(dòng)放置樣品。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器用于提供繞 X 軸的 R1 旋轉(zhuǎn)。機(jī)械手可以在未來(lái)升級(jí)到完全電動(dòng)化。樣品接收站安裝在機(jī)械手上，該機(jī)械手配有用于加熱和溫度控制的電觸點(diǎn)（K 型熱電偶）。樣品接收站還包含氣動(dòng)加熱和冷卻開(kāi)關(guān)。樣品加熱是通過(guò)在 ~3 bar 的壓力下與樣品架進(jìn)行電氣連接來(lái)實(shí)現(xiàn)的。當(dāng)壓力升至約 6 巴時(shí)，藍(lán)寶石球被壓在由銅制成的對(duì)應(yīng)物上，從而熱連接到樣品架上。這樣，當(dāng)使用液氮時(shí)，樣品可以冷卻到 100 K 的溫度。機(jī)械手的創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在明確定義的表面上進(jìn)行掠入射反射測(cè)量，還可以對(duì)氧化物粉末樣品進(jìn)行透射測(cè)量。對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?當(dāng)壓力升至約 6 巴時(shí)，藍(lán)寶石球被壓在由銅制成的對(duì)應(yīng)物上，從而熱連接到樣品架上。這樣，當(dāng)使用液氮時(shí)，樣品可以冷卻到 100 K 的溫度。機(jī)械手的創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在明確定義的表面上進(jìn)行掠入射反射測(cè)量，還可以對(duì)氧化物粉末樣品進(jìn)行透射測(cè)量。對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?當(dāng)壓力升至約 6 巴時(shí)，藍(lán)寶石球被壓在由銅制成的對(duì)應(yīng)物上，從而熱連接到樣品架上。這樣，當(dāng)使用液氮時(shí)，樣品可以冷卻到 100 K 的溫度。機(jī)械手的創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在明確定義的表面上進(jìn)行掠入射反射測(cè)量，還可以對(duì)氧化物粉末樣品進(jìn)行透射測(cè)量。對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?這樣，當(dāng)使用液氮時(shí)，樣品可以冷卻到 100 K 的溫度。機(jī)械手的創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在明確定義的表面上進(jìn)行掠入射反射測(cè)量，還可以對(duì)氧化物粉末樣品進(jìn)行透射測(cè)量。對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?這樣，當(dāng)使用液氮時(shí)，樣品可以冷卻到 100 K 的溫度。機(jī)械手的創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅可以在明確定義的表面上進(jìn)行掠入射反射測(cè)量，還可以對(duì)氧化物粉末樣品進(jìn)行透射測(cè)量。對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量?對(duì)于后一種類型的實(shí)驗(yàn)，使用專門設(shè)計(jì)的樣品架。對(duì)于此類測(cè)量，操縱器旋轉(zhuǎn) 90°。這與紅外光譜儀中反射鏡的重新調(diào)整一起，允許在透射模式下進(jìn)行測(cè)量
為了給 UHV/IR 設(shè)備增加更多的靈活性，在分配室的一個(gè)端口上連接了一個(gè)存儲(chǔ)室。該腔室可為多達(dá)六個(gè)樣品架提供 UHV 存儲(chǔ)。連接到該腔室的機(jī)械手的樣品接收站之一提供用于加熱和溫度測(cè)量的電觸點(diǎn)。
分配室有幾個(gè)備用端口，以便將來(lái)靈活使用，例如添加制備室或額外的高壓室，用于在高壓下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
