2-5 軸 PLD 目標(biāo)機(jī)械手
2-5 軸電動(dòng) PLD 目標(biāo)機(jī)械手專為超高真空條件下的脈沖激光沉積應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
它是一種高精度、高剛性的 UHV 試樣機(jī)械手，帶有多達(dá) 6 個(gè)靶架的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。機(jī)械手可以在垂直或水平方向工作，具體取決于 PLD 工藝幾何形狀
描述
目標(biāo)縱器有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸：R1 和 R2。通過更改 R1 的位置，可以選擇不同的目標(biāo)。R2 軸繞其自身的軸連續(xù)旋轉(zhuǎn)。機(jī)械手有一個(gè)額外的孔/位置（在兩個(gè)目標(biāo)之間）以容納激光功率計(jì)。XY 運(yùn)動(dòng)模塊允許通過激光束掃描目標(biāo)物。一個(gè)軸是電動(dòng)的 – 用于掃描，第二個(gè)是手動(dòng)的 – 用于調(diào)整。附加的 Z 軸用于設(shè)置通過負(fù)載鎖定室傳輸目標(biāo)物的傳輸位置。Z 機(jī)芯可以是電動(dòng)的或手動(dòng)的。計(jì)算機(jī)控制靶材旋轉(zhuǎn)和在整個(gè)靶材直徑（固定激光束）上的徑向掃描，以最大限度地利用靶材進(jìn)行多層沉積。
▪ 靶材支架： PTS
▪ 基本壓力： 10-10mbar
▪ 可以固定形狀不規(guī)則的目標(biāo)
▪ 目標(biāo)尺寸：1 英寸或 2 英寸，標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)厚度：0.5 – 10 毫米
▪ 目標(biāo)的連續(xù)單獨(dú)旋轉(zhuǎn)
▪ 目標(biāo)的選擇
▪和順序變化 防止目標(biāo)
▪的相互污染 徑向掃描，自動(dòng)控制
▪ 靶材同軸安裝（相對(duì)于基材）并定位，以消除液滴、簇落在基材上的可能性以及可能的目標(biāo)剝離的影響靶
▪材支架可轉(zhuǎn)移到負(fù)載鎖定室（或儲(chǔ)存室）以快速更換
▪ 水冷系統(tǒng)
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 200CF |
| 極限壓力范圍 | 10-10毫巴 |
| 快門 | 集成， 氣動(dòng) |
| 冷卻方式 | H20 |
| R2 范圍 | 360° 連續(xù) |
| 位置控制 | 機(jī)動(dòng)* |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| Z 范圍 | 50 mm?（可根據(jù)要求提供其他） |
| 位置控制 | 手輪 |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 500 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| XY 范圍（可選） | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動(dòng)* |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 5 微米 / 1 微米 |
| 最大速度 | 高達(dá) 50 rpm（可根據(jù)要求提供其他） |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶的電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器準(zhǔn)備。
