光束通量監(jiān)測(cè)器
光束通量監(jiān)測(cè)器可在 MBE 應(yīng)用中測(cè)量光束等效壓力 （BEP）。
描述
它通常安裝在線性移位/z 平臺(tái)上，以允許燈絲放置在靠近基材的位置，并在處于待機(jī)位置時(shí)包括一個(gè)保護(hù)罩。
讀數(shù)和完全控制（設(shè)備狀態(tài)、Z 軸偏移）由專用軟件應(yīng)用程序和 Ion Multi Gauge 控制器提供。應(yīng)用程序可以與?Synthesium?集成 – 高級(jí)沉積軟件工具。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 安裝法蘭 | DN 63CF （不可旋轉(zhuǎn)） |
| 測(cè)量系統(tǒng) | Bayard-Alpert 離子真空計(jì) |
| 測(cè)量范圍 | 10-3至 2×10-11托 |
| 線性行程 | 150 mm （可根據(jù)要求提供） |
| 最大外徑 | 63 毫米 |
| 燈絲 | 雙絲，釔涂層銥 |
| 控制器 | 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太網(wǎng)、PROFINET（選項(xiàng) – 訂購時(shí)指定） |
| 烘烤溫度 | 最高 200 °C |
特征
- BEP 測(cè)量
- 離子電流測(cè)量 [nA 單位]
選項(xiàng)
- 機(jī)動(dòng)化
- 定制插入長度
