波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,沉積用電子元件,M1600-PDC脈沖磁控管電源–新

M1600-PDC 磁控管電源

M1600-PDC 是緊湊型開(kāi)關(guān)模式直流脈沖電源，設(shè)計(jì)用于驅(qū)動(dòng)多達(dá) 3 個(gè)磁控管源。

所有可調(diào)參數(shù)都顯示在帶觸摸屏的大型 TFT 顯示屏上。所有設(shè)置均可手動(dòng)調(diào)整，也可在設(shè)備開(kāi)啟后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置計(jì)時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。它完全互鎖，以確保用戶(hù)和設(shè)備的安全。設(shè)備可以通過(guò)可用的模擬或數(shù)字接口之一進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

特征

  • Pule DC 或標(biāo)準(zhǔn) DC?模式
  • 用于 3 個(gè)帶快門(mén)控制的磁控管源的開(kāi)關(guān)
  • 每個(gè)輸出的電壓、電流和功率分別可調(diào)
  • 多個(gè) I/O?– 單獨(dú)可編程
  • 厚度和蒸發(fā)速率測(cè)量（支持厚度監(jiān)測(cè)儀 TM13 /14）
  • 真空測(cè)量（支持主動(dòng)真空計(jì)）
  • 質(zhì)量流量控制器支持

技術(shù)數(shù)據(jù)

  • 電源電壓 100 – 240 V，50-60 Hz
  • 輸出電壓高達(dá) 1200 V（最低 250 V）
  • 輸出電流高達(dá) 3000 mA（從 1 mA）
  • 輸出功率高達(dá) 1600 W*（從 1 W 起）
  • 磁控管的開(kāi)關(guān)模式 3 輸出
  • 模擬輸入/輸出 5 （0 – 10V）/ 5 （0 – 10V）
  • 數(shù)字輸入和輸出單獨(dú)可編程
  • 定時(shí)器 雙模式定時(shí)器 0 s – 99 h 59 min.
  • 真空測(cè)量 1 通道，用于主動(dòng)式真空計(jì)：CTR90、TTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、Baratron、ANALOG IN、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION
  • 厚度和蒸發(fā)速率測(cè)量 1 通道，用于厚度監(jiān)測(cè)儀 TM13 /14
  • 質(zhì)量流量控制器 1 通道
  • 通信接口 RS232/485、以太網(wǎng)
  • 通信協(xié)議 MODBUS-TCP/RTU
  • 用戶(hù)界面 5 英寸 TFT 顯示屏，帶觸摸屏、數(shù)字編碼器
  • 界面語(yǔ)言 簡(jiǎn)體中文
  • 尺寸 485,6 x 87 x 450（寬×高×深），
  • 重量（約）11 kg
  • 脈沖頻率：10-350 kHz
  • 脈沖關(guān)閉時(shí)間：0.4μs-10μs

*當(dāng)市電電壓低于 150V 時(shí)，功率限制為 1000W


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