離子源 IS 40C1 離子槍 高離子束電流 用于樣品表面清潔 具有高斯光束輪廓

緊湊、易于使用的提取器類型，用于樣品表面清潔。源產(chǎn)生 >70 μA/cm 的離子電流2（氬氣）具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據(jù)個(gè)性化要求進(jìn)行調(diào)整（在 62.5 mm – 384.5 mm 之間，其他可根據(jù)要求提供）。

技術(shù)規(guī)格：

安裝法蘭DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)）
能量范圍0.12 keV – 5 keV
電流密度> 120 μA/cm2（距離 30 mm 時(shí)）
陰極類型氧化釔涂層銥絲
插入長度最小 62.5 mm，其他根據(jù)要求
外徑：最大 37 mm
FWHM取決于離子能量和工作距離
（例如，3 mm 對(duì)距離 30 mm）
典型工作距離30 – 250 毫米
烘烤溫度最高 250°C
工作壓力10-5– 10-6毫巴

特征：

  • 使用惰性（Ar）和反應(yīng)氣體（O2， H2，壽命縮短的碳?xì)浠衔铮?/li>
  • 高離子束電流
  • 使用壽命長
  • 高穩(wěn)定性

選項(xiàng)：

離子源電源IS40-PS

高穩(wěn)定性和低噪音電源，可配置為與IS40C1或IS40E1離子源配合使用。

離子源 IS 40E1 模式

IS40-PS 電源驅(qū)動(dòng) IS40E1 掃描離子源。它允許微調(diào)主光束能量、離子密度和光束輪廓（通過調(diào)整提取器、聚焦透鏡、偏轉(zhuǎn)和定位元件）。通過數(shù)字編碼器最多可改變 4 個(gè)參數(shù)。每個(gè)參數(shù)的當(dāng)前狀態(tài)顯示在大型前面板LCD顯示屏上。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。通過 USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。
提供維恩過濾器選項(xiàng)。

離子源 IS 40C1 模式

IS40-PS 電源驅(qū)動(dòng) IS40C1 離子源，用于大面積 UHV 樣品清潔和制備。IS40-PS 電源允許通過數(shù)字編碼器微調(diào)光束能量和離子密度。所有設(shè)置都可以手動(dòng)調(diào)整，也可以在設(shè)備打開后自動(dòng)存儲(chǔ)和調(diào)用。該裝置還具有內(nèi)置定時(shí)器和自動(dòng)待機(jī)模式。通過 USB 端口輕松更新固件。設(shè)備可通過RS232/485或以太網(wǎng)接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。自動(dòng)保存功能，用于保存參數(shù)/單位預(yù)設(shè)并在重新啟動(dòng)后自動(dòng)應(yīng)用它們。

技術(shù)規(guī)格：

電源電壓100V – 240V，50-60Hz
（最大功耗250W）
定時(shí)器雙模式定時(shí)器，0 秒 – 99 小時(shí) 59 分鐘
真空測(cè)量（可選）CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模擬輸入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION
用戶界面7“ TFT 顯示屏，帶觸摸屏，數(shù)字編碼器
通信接口RS232/485，以太網(wǎng)
通信協(xié)議MODBUS-TCP
界面語言英語， 德語， 波蘭語
尺寸 [毫米]483 x 133 x 437 mm（寬 x 高 x 深），19“ 機(jī)架安裝

規(guī)格（IS40E1 模式）

光束能量 （E）0 – 5 keV，分辨率 0.01 keV，紋波 < 0.2 VPP
發(fā)射電流（Ie)0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA
焦點(diǎn) （1，2） 電壓0 – 5000 V，分辨率 1 V，紋波 < 0.2 VPP
提取器電壓（Ex）60 – 100% 能量，分辨率 0.1%，紋波< 0.2 VPP
光束位置（像素、像素）-5 毫米至 5 毫米，分辨率 0.01 毫米
掃描區(qū)域（Δx、Δy）10 毫米 x 10 毫米，分辨率 0.01 毫米
掃描速度（時(shí)間/點(diǎn)）20 μs – 30 ms
重量（大約）12 公斤

規(guī)格（IS40C1 模式）

光束能量（U英)0.00 keV – 5.00 keV，分辨率 0.01 keV，紋波< 200 mV
發(fā)射電流（Ie)0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA
重量（大約）9.2 千克

選項(xiàng)：

– 軟件控制（專業(yè)版、擴(kuò)展版或庫模塊）

– 用于真空測(cè)量的模擬量 I/O 卡（1 個(gè)儀表）


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