線性傳輸
設(shè)計(jì)用于在 UHV 條件下在腔室之間運(yùn)輸樣品架/樣品。
它們通常用于將樣品從負(fù)載鎖室轉(zhuǎn)移到 UHV 系統(tǒng)主室。線性輸送由研究平臺(tái)泵送系統(tǒng)泵送，或者使用專用泵組進(jìn)行泵送。傳輸機(jī)構(gòu)的整個(gè)運(yùn)動(dòng)范圍都是通過旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)饋通實(shí)現(xiàn)的。傳輸運(yùn)動(dòng)的范圍為 450 至 1600 毫米。
有兩種類型的線性傳輸可用：
? 1 軸 – 僅向前移動(dòng)，
? 2 軸 – 向前移動(dòng)并圍繞運(yùn)動(dòng)軸連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 移動(dòng)法蘭 | DN 63CF 系列 |
| 最大傳輸長度 Z | 320 – 1600 mm，取決于腔室長度和樣品架類型（可根據(jù)要求提供其他） |
| 位置控制 | 手動(dòng)/電動(dòng)（可選） |
| 烘烤溫度 | 最高 150°C |
傳輸長度
| 最大傳輸長度Z [毫米] | 外殼長度 L [mm] |
| 320 | 592 |
| 500 | 772 |
| 750 | 1022 |
| 1000 | 1272 |
| 1250 | 1522 |
| 1500 | 1772 |
| 1600 | 1872 |
選項(xiàng)
- 兩個(gè)軸都可以電動(dòng)
- 適用于各種類型樣品架的夾具：PTS、旗形、板式（最大 6 英寸）、圓盤式（可根據(jù)要求提供其他）
雙面解決方案
雙面線性傳輸允許通過線性傳輸室在兩個(gè)方向上傳輸。腔室可以配備額外的端口，用于連接泵等。
傳輸運(yùn)動(dòng)的范圍為 500 至 2000 毫米。
