旋涂機(jī)械手用于沉積金屬薄膜、聚合物涂層、有機(jī)薄膜等。過(guò)量的溶液通過(guò)加熱的滴頭放置在基材上。然后，基板機(jī)械手高速旋轉(zhuǎn)。溶劑通常具有揮發(fā)性，在真空下旋轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)蒸發(fā)，在基材上留下均勻的薄膜。沉積薄膜的厚度從幾納米到幾百納米不等。