鈦升華泵 （TSP） 是真正的 UHV 泵。該泵的主要優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單、便宜，并且可以產(chǎn)生高抽速。TSP 由 3 根可拆卸的發(fā)夾形細(xì)絲組成。它們由鈦和鉬合金制成，安裝在一個(gè)簡(jiǎn)單的載體中，旨在具有低電阻。

描述

來(lái)自外部電源的大電流通過(guò)燈絲，使其發(fā)出熾熱的光。在此溫度下，鈦直接從細(xì)絲中升華，然后蒸發(fā)劑覆蓋在腔室的附近壁上。

▪ 為了提高抽速，TSP 可以配備液氮護(hù)罩
▪提供在不同方向工作的不同版本