波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,沉積用電子元件,厚度檢測器

厚度監(jiān)測器 TM13 & TM14

TM13 和 TM14 設(shè)備包括:石英振蕩器、頻率測量系統(tǒng)和通信接口。

描述

它連接到石英諧振器的輸入元件。測量結(jié)果通過 RS232 傳輸?shù)街髟O(shè)備:PC 或 TMC13 控制器。通過 TMC13 控制器或 PC 進行遠程控制。專用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英諧振器頻率隨時間的變化(以圖形的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發(fā)速率。適用于 MBE 等應(yīng)用。

特征

TM13

  • 頻率分辨率:0.1 Hz
  • 每秒測量次數(shù):4(固定)
  • 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
  • 穩(wěn)定性:0.5 ppm

TM14

  • 頻率分辨率:0.01 Hz
  • 每秒測量次數(shù):0.5、1、2、4、10(可選)
  • 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
  • 穩(wěn)定性:0.5 ppm

技術(shù)數(shù)據(jù)

電源5V 直流
電流消耗最大 500 mA
TM13TM14
厚度分辨率0.1 ?0,01 ?
速率分辨率0.1 ?/秒0.01 ?/秒
頻率分辨率0.1 赫茲0.01 赫茲
頻率穩(wěn)定性0.5 頁/分鐘0.5 頁/分鐘
每秒測量次數(shù)40.5;1;2;4;10
(可選)
通信接口RS232 接口
尺寸 [mm]80.0 x 50.0 x 27.0 毫米(寬 x 高 x 深)
重量(大約)0.1 千克

選項

  • 通信接口 RS485(訂貨時指定)

Related posts