波蘭PREVAC分析系統(tǒng) 用于催化劑研究的多室 XPS/UPS 系統(tǒng)

描述

用于研究新型催化劑材料的物理和化學(xué)性質(zhì)的定制多室 UHV 系統(tǒng)。

規(guī)格

多室（分析和制備）系統(tǒng)在真正的 UHV 條件下（壓力低于 10?-10毫巴）在室之間進(jìn)行線性樣品傳輸。分析室中的基礎(chǔ)壓力 < 5*10?-11?mbar。催化反應(yīng)可以在高達(dá) 2000 毫巴（包括 2000 毫巴）的壓力下進(jìn)行，快速抽空并轉(zhuǎn)移到分析室。

  • 集成不同表面分析方法的球形多技術(shù)分析室：?jiǎn)紊玐射線光電子能譜（MXPS）、單色紫外光電子能譜（UPS）和光電子發(fā)射顯微鏡（PEEM）。樣品定位是通過(guò)一個(gè)非常穩(wěn)定、高精度的 5 軸機(jī)械手進(jìn)行的，機(jī)械手有兩個(gè)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸，用于自動(dòng)角度映射。樣品接收站配備了 LN?2低溫恒溫器，允許溫度在 -180°C 至 1000°C 范圍內(nèi)變化（取決于樣品架型號(hào)）。該腔室由 mu-metal 制成，并配備了一個(gè)帶 2D 探測(cè)器的半球分析儀、一個(gè)單色 X 射線源、UV 源、單色器和一個(gè) 40 nm 分辨率的 PEEM
  • 結(jié)合磁懸浮渦輪分子泵、離子泵和鈦升華泵的特高壓真空系統(tǒng)。表面分析室和制備室可以獨(dú)立烘烤。半球分析儀安裝在水平位置
  • 安裝在分析室上方的球形制備室配有離子源、質(zhì)譜儀、電子束蒸發(fā)器、氣體加料器和幾個(gè)用于未來(lái)擴(kuò)展的端口
  • 用于樣品加熱（高達(dá) 650°C）和在壓力高達(dá) 2000 mbar 的受控氣體環(huán)境中冷卻的高壓反應(yīng)器
  • 用于 6 個(gè)樣品架的樣品停放室
  • 負(fù)載鎖室


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