多室特高壓系統(tǒng)。
傳輸系統(tǒng)
PTS 樣品架。
系統(tǒng)配置
– 兩級制備室：
- 具有 LN2 冷卻和可加熱至 2000°C 的高精度 5 軸機(jī)械手
- LEED/螺旋鉆
- 電子束蒸發(fā)器
- 沉積速率測量系統(tǒng)：石英平衡和厚度監(jiān)視器
- 電子束蒸發(fā)器
- 氣體加藥系統(tǒng)
– 徑向分布室，用于在特高壓條件下在連接室之間轉(zhuǎn)移樣品
– 分析室：
- 具有 LN2 冷卻和可加熱至 1200°C 的高精度 5 軸機(jī)械手
- 電子分析儀 XPS/UPS
- 用于 XPS 測量的雙陽極 X 射線源
- 帶有用于 UPS 測量的專用泵系統(tǒng)的 UV 源
- 電子源
- 帶專用泵送系統(tǒng)的離子源用于深度分析
– 負(fù)載鎖定室
– STM室
– 配件：
- 樣品架組
- 烘烤系統(tǒng)
- 適用于所有電子單元的 19″ 機(jī)架式機(jī)柜
- 支撐架
- LED照明
