電子束流監(jiān)測(cè)器 能夠測(cè)量MBE應(yīng)用中的束流等效壓力（BEP）。
描述
它通常安裝在線性移位/z臺(tái)上，以允許燈絲靠近基板，并在待機(jī)位置時(shí)包括一個(gè)保護(hù)罩。
讀數(shù)和完全控制（設(shè)備狀態(tài)、Z軸移動(dòng)）由專用軟件應(yīng)用程序和離子多表控制器提供。應(yīng)用程序可以與Synthesium（先進(jìn)的沉積軟件工具）集成。
特性
BEP測(cè)量
離子電流測(cè)量[nA單位]
選項(xiàng)
機(jī)動(dòng)化
定制插入長(zhǎng)度
技術(shù)參數(shù)
| Mounting flange | DN 63CF (non-rotatable) |
| Measurement system | Bayard-Alpert ion gauge |
| Measurement range | 10-3?to?2×10-11?Torr |
| Linear stroke | 150 mm (other on request) |
| Max. outer diameter | 63 mm |
| Filament | dual filament, ytrium coated iridium |
| Controller | 3 channel MG15 – communication interface: RS232/485, Ethernet, PROFINET (option – specify at order) |
| Bakeout temperature | up to?200 °C |
