封裝式壓電陶瓷促動器應用領(lǐng)域

封裝式壓電陶瓷促動器內(nèi)部集成高可靠性壓電陶瓷,可實現(xiàn)納米級分辨率,位移行程可達260微米,微秒級響應時間,外部由柱形不銹鋼外殼保護。

較高的內(nèi)部機械預載力可適用于高負載、高動態(tài)應用。出力達50000N,使其非常適于腔調(diào)諧、主動振動、減震抑震或自適應力學。同時,小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉(zhuǎn)、精密加工或顯微光刻等應用。

封裝式壓電陶瓷:

150V Piezoelectric Stack Actuators

ActuatorsLengthRangeForce
SA0303055 mm5.6 um330 N
SA0303066 mm7 um330 N
SA03031010 mm14 um330 N
SA03031818 mm25 um330 N
SA05051010 mm14 um900 N
SA05052020 mm31 um900 N
SA05053636 mm56 um900 N
SA07071818 mm28 um1800 N
SA07074242 mm70 um1800 N

應用領(lǐng)域

超導腔調(diào)諧

通過諧振器在軸向拉伸超導腔,改變加速間隙的大小,控制超導腔的頻率。通過機械調(diào)諧進行頻率的粗調(diào)后,當超導腔的頻率接近所需要的頻率時,通過壓電陶瓷促動器對頻率進行微調(diào)。利用的是壓電陶瓷促動器的大出力、微位移的特性。

微細電火花加工

采用微細電火花加工微小孔過程中會產(chǎn)生很多碎屑,這會嚴重影響電火花加工的精準度及加工速度。設(shè)備中采用壓電促動器,利用其微納米級位移,高頻振動,大出力等特性將加工產(chǎn)生的碎屑進行有效的清除,起到優(yōu)異的導屑作用。

150V Piezoelectric Ring Stacks

ActuatorLengthODIDRangeForce
SR08041010 mm8 mm4.5 mm14 um1300 N
SR08041818 mm8 mm4.5 mm28 um1300 N
SR12061010 mm12 mm6 mm14 um3000 N
SR12062020 mm12 mm6 mm30 um3000 N

減震抑震

震動是很多機械系統(tǒng)中需要避免或消除的,如航空航天、汽車行業(yè)等。在震動監(jiān)測系統(tǒng)中監(jiān)測到震動時,通過給壓電促動器施加電信號,使壓電促動器隨之產(chǎn)生與震動方向相反的位移,從而抵消震動。

TubeDiagram

ActuatorLengthDiameterThicknessMax. VoltageScan Range
TB100510.0 mm5.0 mm0.66 mm±?264 V3.8 um
TB200520.0 mm5.0 mm0.66 mm±?264 V15 um
TB350735.0 mm7.0 mm0.66 mm±?264 V39 um
TB500950.8 mm9.5 mm0.66 mm±?264 V52 um
TB550955.0 mm9.0 mm0.60 mm±?250 V66 um
TB600660.0 mm6.0 mm0.65 mm±?260 V114 um

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