Newmark NLE真空導(dǎo)軌，Newmark真空位移平臺(tái), Newmark NLS真空線性滑塊，NLS真空直線模組
NLE系列可提供XY和XYZ配置。NLE線性臺(tái)的真空兼容版本在尺寸上與標(biāo)準(zhǔn)NLE相同。臺(tái)架的每個(gè)部分都經(jīng)過修改，以最大程度地減少虛擬泄漏和氣體放出。
所有鋁件均經(jīng)過清潔處理，軸承使用Braycote 601EF潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑，所有電線使用聚四氟乙烯絕緣。步進(jìn)電機(jī)和線性編碼器專為真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。緊固件采用不銹鋼制造，如果用于盲孔，則進(jìn)行通氣處理以消除虛擬泄漏。
采用真空兼容線性編碼器以提高定位精度。
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用不銹鋼ACME導(dǎo)程螺桿和乙酸樹脂驅(qū)動(dòng)螺母。驅(qū)動(dòng)螺母提供零回程間隙操作，可自動(dòng)調(diào)整磨損，確保臺(tái)架壽命內(nèi)零回程間隙。
線性導(dǎo)向軸承提供平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)、高負(fù)載能力和剛度。由于臺(tái)架在整個(gè)行程上受到支撐，因此可以實(shí)現(xiàn)良好的懸臂載荷能力。
電機(jī)線和編碼器電纜長(zhǎng)0.6米（2英尺）。電機(jī)線帶有真空兼容的DB-9母連接器，編碼器電纜帶有真空兼容的DB-15母連接器。
行程范圍 | 50 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm,300 mm |
導(dǎo)程 | 1.5875 mm lead, Stainless Steel |
編碼器分辨率 | 0.1 μm |
重復(fù)性 | ±0.5 μm (closed loop) |
精度 | ±3 μm / 100mm of travel (closed loop) |
最大負(fù)載 | 22.6 Kg (50 lbs) |
| 最大速度 | 10 mm/sec |
臺(tái)架重量 | |
材質(zhì) | Aluminum |
表面處理 | Clear Irridite |
真空等級(jí) | 10^-7 Torr |
操作溫度 | 0°C to 50°C (motor case should not exceed 80°C) |
NEMA 17真空兼容步進(jìn)電機(jī)
電機(jī)中的所有油漆和油脂都被清除。接下來，采用高溫繞組以及聚四氟乙烯引線。
NEMA 17高扭矩步進(jìn)電機(jī) 每相0.95安培 每相5.0歐姆 每相3.1毫亨利 每步1.8度 兼容以下運(yùn)動(dòng)控制器： NSC-A1系列 | NSC-G系列
