美國MCALLISTER 6“ 樣品尺寸探針臺(tái),無損電氣測試

MCALLISTER 6“ 樣品尺寸探針臺(tái)產(chǎn)品描述

MCALLISTER大樣品尺寸 – 6 英寸（150 毫米）

• 所示 蓋板已拆下
• 完全訪問整個(gè)晶圓表面
• ±3 英寸（±765 毫米）XY 行程
• 0.5 英寸（12.5 毫米）Z 軸行程
• 計(jì)算機(jī)化運(yùn)動(dòng)控制
• 冷卻至 -40C
• 48 個(gè)儀表饋通
• 1000X 三目顯微鏡（未顯示）
• 集成多電路探針卡安裝
• 單獨(dú)的真空兼容掃描探頭
• 真空度可達(dá)?^10-6?torr
• 其他儀表端口
• 高精度定位器 <0.0001“ （<2μ）

MCALLISTER 6“ 樣品尺寸探針臺(tái)

MCALLISTER術(shù)語“探針臺(tái)”涵蓋了用于將分析探針或測試探針放置在測試樣品上不同位置進(jìn)行無損電氣測試的各種設(shè)備。此處的示例顯示了可用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、物理學(xué)、光學(xué)和 MEMS 的各種不同尺寸和類型。所有產(chǎn)品都是專門為最終用戶的獨(dú)特訪問、范圍、溫度和測試要求量身定制的。這些旨在展示 MTS 定制設(shè)計(jì)和制造車間的可能性范圍，該列表幾乎并不詳盡