Master Bond UV15已被選用用于制造多種應(yīng)用的聚合物光學(xué)波導(dǎo)。在墨爾本皇家理工大學(xué)進(jìn)行的研究項(xiàng)目中，UV15被用于光學(xué)聚合物平板波導(dǎo)的上、下包層。1 在德克薩斯大學(xué)奧斯汀分校進(jìn)行的研究中，UV15形成了設(shè)計(jì)用于光調(diào)制器的波導(dǎo)的下包層。2 荷蘭特文特大學(xué)的研究人員使用UV15作為核心層制造了多模聚合物波導(dǎo)。3
這三個(gè)研究中的波導(dǎo)均采用旋涂技術(shù)沉積包層和核心層，光刻技術(shù)進(jìn)行波導(dǎo)圖案制作，反應(yīng)離子刻蝕（RIE）將波導(dǎo)圖案轉(zhuǎn)移到核心層。在每項(xiàng)研究中，選擇了不同組合的材料（如UV15和一個(gè)或兩個(gè)其他聚合物材料）作為核心層和兩個(gè)包層，并且根據(jù)具體的設(shè)計(jì)和性能目標(biāo)調(diào)整了制造工藝。
滿足波導(dǎo)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
UV15非常適合許多聚合物光學(xué)波導(dǎo)設(shè)計(jì)。它在633 nm波長處的折射率為1.48，并且能夠良好地粘附硅，硅通常用作波導(dǎo)制造的基底。單組分的UV15易于旋涂，形成平滑均勻的膜層，厚度在波導(dǎo)中使用的范圍內(nèi)（大約5到100 μm）。由于UV15可以耐受光刻中使用的溶劑，因此可以進(jìn)行圖案化和刻蝕，形成帶狀波導(dǎo)通道。
Master Bond UV15已成功用于制造低損耗的電光聚合物波導(dǎo)。通過精確控制旋涂、固化、光刻和刻蝕過程，可以優(yōu)化UV15及其他用于波導(dǎo)設(shè)計(jì)的材料的性能，以實(shí)現(xiàn)特定的設(shè)計(jì)目標(biāo)。由此制造的聚合物波導(dǎo)成本相對較低，并可用于實(shí)現(xiàn)各種電光器件。
- Simon, Darren. 《用于電光應(yīng)用的聚合物薄膜的化學(xué)和形態(tài)學(xué)》. 博士論文, 澳大利亞皇家墨爾本理工大學(xué), 2006.
- Zhou, Qingjun. 《基于聚合物Y形饋送定向耦合器的電光調(diào)制器》. 博士論文, 德克薩斯大學(xué)奧斯汀分校, 2004.
- Musa, S., 等. 《制造用于局域網(wǎng)和光互連的聚合物多模波導(dǎo)》. 《IEEE/LEOS Benelux分會論文集》, 2000, pp.
