獨(dú)立晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)，消除了外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性
基于專(zhuān)有設(shè)計(jì)的快速交換功能，允許在針腳水平以下進(jìn)行晶圓夾具裝載
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)能夠在不進(jìn)行機(jī)械重新定位的情況下檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，適用于不同晶圓尺寸
運(yùn)動(dòng)控制軟件包含一整套常用命令，支持與多種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口
典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間小于五秒，幫助實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

美國(guó),Logosol,LPA12FS-3,獨(dú)立晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格：