Logosol,LPA系列,晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,運(yùn)動中的可靠性，晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，LPA系列,創(chuàng)新的高性能設(shè)計，兼容Class 1標(biāo)準(zhǔn),獨特的一體化設(shè)計消除了外部控制器和連接電纜，同時保持了插入式兼容性
掃描電子設(shè)備、運(yùn)動控制器和電源集成在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的占地面積內(nèi)
由超低慣性無刷電動機(jī)驅(qū)動，確保平穩(wěn)、即時響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需機(jī)械重新定位即可適應(yīng)不同尺寸
與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人無縫對接，支持從45mm到480mm的所有晶圓尺寸，以及相應(yīng)的方形基板尺寸
Logosol控制軟件提供全面的命令集，支持與多種半導(dǎo)體平臺的兼容性和接口
快速的對準(zhǔn)周期時間有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量
可作為獨立設(shè)備或與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人協(xié)同工作的嵌入式設(shè)備提供
保留選項包括真空、非真空和邊緣搬運(yùn)。