Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預對準器特征：
-創(chuàng)新型高性能一體化設計，無需外部控制器和連接線纜，同時保持可直接替換的兼容性
-采用超低慣量無刷電機驅動，實現平穩(wěn)、即時響應
-先進的掃描電子系統(tǒng)，無需機械調整即可檢測透明、半透明和不透明的物體，適用于不同尺寸晶圓
-運動控制軟件支持常用指令集，便于與多種半導體平臺兼容與對接
-典型對準周期小于 4 秒，有助于實現系統(tǒng)的最大吞吐量

Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預對準器規(guī)格：

晶圓直徑：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm

晶圓不透明度：透明，半透明，不透明

方形基片：適用

晶圓搬運：真空卡盤和銷釘

居中精度：±25um 在預對準器吸盤上

角度精度 (3 Sigma)：

10000 CPR 編碼器? ：±0.04° 在預對準器吸盤上

24000 CPR 編碼器 ：±0.02° 在預對準器吸盤上

伺服軸：3

主機通信：RS232, 以太網

最大初始晶圓偏移：12mm

外形尺寸（寬 × 長 × 高）：173mm x 317mm x 190mm

占地兼容性：LPA812-3, LPA1218-3 LPA8ET-3, LPA12ET-3

重量：5.50kg

所需設施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A Vacuum 12″ Hg

切邊/缺口兼容性：符合SEMI標準

潔凈度：Class 1

平均無故障時間MTBF：超過 70000小時

Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預對準器一般尺寸規(guī)格：

http://ayf.org.cn/logosol/Logosol進口代理,晶圓預對準器,LPA312-3系列,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P / ?