Logosol,晶圓機器人,晶圓機械手,Diamond,H4,晶圓處理平臺?DiamondH4系列雙臂大氣機器人 Diamond H4 系列雙臂大氣機器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計和可靠性方面的重大工程進步。 兩個獨立的臂（R1 和 R2）連接到一個共同的旋轉(zhuǎn)軸（T），可以實現(xiàn)快速交換或同時轉(zhuǎn)移兩個晶圓。

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