Logosol,LPA812-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器特征：

創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計，取消了外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用的兼容性

采用超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)且即時的響應(yīng)先進的掃描電子技術(shù)可在無需機械重新定位的情況下，檢測透明、半透明和不透明的物體，適用于不同尺寸的晶圓

運動控制軟件具備一整套常用指令，支持與多種半導(dǎo)體平臺的兼容與接口連接

典型的對準(zhǔn)周期小于四秒，有助于實現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量

Logosol,LPA812-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器規(guī)格：

晶圓直徑:200mm, 300mm

晶圓不透明度:透明、半透明、不透明

方形基片:適用的

晶圓搬運:真空卡盤和定位銷

居中精度:預(yù)對準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±25微米

角度精度 (3 Sigma) :

10000 CPR 編碼器:預(yù)對準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±0.04°

24000 CPR 編碼器: 預(yù)對準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±0.02°

伺服軸:三

主機通信:RS232，以太網(wǎng)

最大初始晶圓偏移:12mm

外形尺寸（寬 × 長 × 高）:173mm x 317mm x 190mm

占地兼容性:

LPA312-3, LPA1218-3
LPA8ET-3, LPA12ET-3

重量:5.40kg

所需設(shè)施:100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A 真空：12 英寸汞柱（Hg)

切邊/缺口兼容性:符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)

潔凈度:Class 1

平均無故障時間MTBF:超過7萬小時

Logosol,LPA812-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器一般尺寸規(guī)格:

http://ayf.org.cn/logosol/Logosol尋邊器,LPA812-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,LPA812-3-V76P1-S23-S-V500P-NE/