采用超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、瞬時(shí)響應(yīng)。
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體，無(wú)需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位。
運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用命令，確保與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口。
典型的對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間少于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。