美國,Logosol,diamond H3,晶圓處理機器人,Diamond H3 系列大氣機器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計和可靠性方面的重大工程進(jìn)步。 得益于技術(shù)上更為先進(jìn)的組件，這些機器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機，并配合零回程的 Harmonic Drive? 齒輪，以實現(xiàn)顯著增強的靈活性和精度。
創(chuàng)新的一體化設(shè)計兼容 1 類潔凈室，將運動控制器、伺服放大器和電源集成在機器人行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的占地面積內(nèi)。
高強度的結(jié)構(gòu)件使得機器人可以采用頂置、底置或側(cè)置安裝配置，同時不妥協(xié)系統(tǒng)的剛性。 32 位實時內(nèi)核提供精確的運動輪廓，沿平滑連續(xù)軌跡執(zhí)行，同時分布式控制架構(gòu)使得與線性軌道、預(yù)對準(zhǔn)器和其他子組件的無縫集成成為可能。
網(wǎng)絡(luò)化的 RS-485 和以太網(wǎng)接口補充了標(biāo)準(zhǔn)的 RS-232 和示教 pendant 連接。強大的本地晶圓處理和腳本語言支持加速軟件開發(fā)，使機器人能夠迅速到 OEM 應(yīng)用環(huán)境中。對傳統(tǒng)機器人“宏”指令的全面仿真提供了與各種現(xiàn)有半導(dǎo)體工具的兼容性，實現(xiàn)了即插即用。
美國,Logosol,diamond H3,晶圓處理機器人特征：
卓越的結(jié)構(gòu)剛性
模塊化且高度可定制的設(shè)計
臂長從 10.50 英寸到 24.00 英寸
垂直行程可達(dá) 21 英寸
完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源
高響應(yīng)無刷電機和精確的零回程 Harmonic Drive? 齒輪
可選的絕對編碼器，消除初始?xì)w位程序
處理徑向和直線設(shè)備放置
與預(yù)對準(zhǔn)器、線性軌道和其他外圍組件的無縫集成
標(biāo)準(zhǔn) RS-232 接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口與主機計算機連接
先進(jìn)的 32 位實時運動控制內(nèi)核
強大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和公用工具
對傳統(tǒng)機器人宏指令的全面軟件仿真
可選示教 pendant 終端
用于定制用途的通用數(shù)字輸入和輸出
兼容 1 類潔凈室環(huán)境
可靠性 – 平均故障間隔時間（MTBF）> 60,000 小時，（MCBF > 10,000,000 次循環(huán)）
美國,Logosol,diamond H3,晶圓處理機器人工作視頻：
美國,Logosol,diamond H3,晶圓處理機器人
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